在高要求 高洁净度的半导体制造环境中，防火封堵系统早已不再仅仅是阻止火焰蔓延的结构构件，更是维系洁净室污染控制、压差稳定与灾后快速恢复能力的关键设施。一旦发生火灾，烟雾倒灌、化学品泄漏或空调系统失效，将对产品良率与生产连续性造成重大冲击。因此，防火封堵的设计与施工，必须跳脱传统经验式做法，迈向标准化、系统化与可追溯的全流程管理。
根据FM DS 7-7《半导体制造设施》规范，所有穿越防火墙、楼板与天花板的开孔，均须采用通过FM认证的防火封堵材料，并由取得FM4991认证的专业承包商负责施工。防火封堵系统的耐火等级应等同或**原始结构，且设备区域的穿越点必须具备良好的气密性能，每平方米*大空气泄漏量不得*过2.1 m³/min，以防止火灾初期的烟气和颗粒迅速扩散至关键工艺区域。FM标准还进一步要求每年至少进行一次防火封堵状态检查，确保系统长期有效。
FM DS 1-56《洁净室》也明确指出，所有穿越不燃楼板与防火墙的管道、电缆及公用设施，均应使用认可材料进行严密封堵，并设立每半年一次的定期检查机制，涵盖墙体、地面及防火门等重点部位，确保区域隔离完整性与阻隔功能。同时，洁净室所使用的建材必须符合ASTME84的防火测试要求，其烟密度指数（SDI）不得**0.4 (m/s^1/2)(g/g)(kW/m)^(2/3)，以降低火灾过程中烟雾对洁净空间的污染风险。
在此基础上，防火封堵材料还必须通过洁净室逸气测试与污染分析，确保在常温或加热状态下不会释放挥发性分子污染物(AMC, Airborne Molecular Contaminants)，从而避免对制程设备或产品造成污染影响。根据ISO 14644-8与SEMI F21等国际标准，材料应通过ASTME595测试及 GC/MS气相色谱质谱分析，确认其总质量损失（TML）与可冷凝挥发物（CVCM）均在可接受范围内，且不得含有硅氧烷、含氯气体、**溶剂等高风险成分，方可应用于高等级无尘空间，实现“防火”与“防污染”的双重目标。
同时，防火封堵系统还应具备出色的气密性与水密性。根据UL认证标准，L等级用于评估封堵系统在标准压差（75 Pa）下的空气渗漏表现，是维持洁净室压差平衡与控制微污染的重要依据；而 W 等级则代表材料能在72小时静水压下不发生渗漏，适用于存在冷凝水、清洗液或潮湿环境的区域。因此，UL的L/W等级已成为洁净室工程选型封堵系统的重要技术参考。
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