近年多晶硅太阳能电池产业得到蓬勃发展，作为太阳能电池产业的上游多晶硅产业发展迅猛。多晶硅生产对环境造成的影响越来越受到关注。那么你知道硅气体怎么处理吗？多晶硅废气处理工艺有哪些吗？下面昆山鑫蓝环保为您做简单介绍：
多晶硅废气处理方法
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，反应性和自燃性，有非常宽的自发着火范围和*强的燃烧能量，D性很大。
1.传统废气处理工艺
目前多晶硅厂几乎全都采用碱洗喷淋塔工艺，主要是因为其成本较少，工艺流程简单。工艺大致为：多晶硅生产中废气、废液直接进入碱液（NaOH或CaO溶液)喷淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2（粉）、Na2SiO3等，然后送至后续的废水处理，进行进一步脱盐和固体废物处理；出喷淋塔的尾气（含H2、其他惰性气体）排空。
废气焚烧工艺
2.废气焚烧处理工艺
蓄热焚烧工艺是环保性和安全性都比较高，可做到对废气、废液彻底有效的治理。其工艺流程为：蓄热焚烧一余热回收一二氧化硅回收一急冷塔一盐酸回收一喷淋塔一排放。
2．1焚烧工艺特点
(1)安全性：废气、废液采取焚烧处理的方式*大提高了处理系统的安全性。
(2)余热回收：焚烧炉出来的高温烟气，含有大量热能，通过锅炉把烟气中的大部分热量回收，回收烟气中的余热副产蒸汽，节约能源并产生经济效益。
(3)实现干法回收：通过旋风除尘器及布袋除尘器双重作用对烟气中的SiO2进行回收，回收烟气中SiO2作为副产品，可用作相关产业工业原料。
(4)盐酸回收及利用：对烟气中的HCl进行回收副产盐酸，并可将脱吸后高纯度的HCl气体回用于多晶硅生产过程中的TCS合成。HCl循环工艺可大大提高整个系统的氯循环效率，减少资源的浪费及对环境的污染。
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